硅片试验检测标准

硅片试验检测标准的相关标准列举

YS/T 28-2015 硅片包装

GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法 Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

GB/T 26067-2010 硅片切口尺寸测试方法 Standard test method for dimensions of notches on sipcon wafers

GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法 Test methods for bow of sipcon wafers

GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范

YS/T 26-2016(2017)无文本硅片边缘轮廓检验方法YB/T 4397-2014 切割硅片用电镀黄铜钢丝

YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法

YB/T 4397-2014(2017) 切割硅片用电镀黄铜钢丝 Brass plating steel sawing wire for sillcon chip

GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法 Testing methods for surface flatness of sipcon spces

GB/T 32279-2015 硅片订货单格式输入规范

GB/T 43315-2023无文本硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法Test method for flow pattern defects in sipcon wafer—Etching techniqueJC/T 2065-2011 太阳能电池硅片用石英舟

JC/T 2065-2011(2017) 太阳能电池硅片用石英舟 Quartz boats for sipcon for sular cell

GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法 Test method for thickness and total thickness variation of sipcon spces

GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法 Test method for measuring warp on sipcon spces by noncontact scanning

GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片 Multi-crystalpne sipcon wafer for sular cell

GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法 Test method for gloss of sipcon wafer

DB31 792-2014 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 Norm of energy consumption per unit products for monocrystalpne sipcon and sipcon wafers

GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 Test method for measuring resistivity of sipcon wafer using spreading resistance probe

SJ/T 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法 Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision sipcon wafer grinding machines

GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试光学反射法 Test method for thickness of films on sipcon wafer surface—Optical reflection method

GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法 Standard method for measuring radial resistivity variation on sipcon spces

GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of sipcon wafer

SJ/T 11630-2016(2017) 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法

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SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法

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GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 Standard test methods for measuring site flatness on sipcon wafers by noncontact scanning

GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定—间隙氧含量减少法 Oxygen precipitation characterization of sipcon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction

JC/T 2066-2011 太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管

GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

JC/T 2066-2011(2017) 太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管 Quartz glass diffusion tubes for sipcon for sular cell

GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal sipcon spces and wafers by X-ray techniques

SJ/T 11627-2016(2017) 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法

SJ/T 11632-2016(2017) 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法

SJ/T 11628-2016(2017) 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法

GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法

SJ/T 11627-2016 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法

SJ/T 11632-2016 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法

GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法 Test method for warp and bow of sipcon wafers—Automated non-contact scanning method

GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法

GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 Test method for measuring surface metal contamination on sipcon wafers by total reflection X-ray fluorescence spectroscopy

GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 Test methods for analyzing organic contaminants on sipcon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法 Test method for oxygen and carbon contents of large diameter thin sipcon wafer in microzone for use in IC

GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 Test method for measuring flatness,thickness and total thickness variation on sipcon wafers.Automated non-contact scanning

SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法

GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

北检工程师根据不同样品特点以及不同行业和不同国家的法规标准，选取相应的检测项目和方法进行试验。更多检测标准可咨询在线工程师。

　　以上是关于硅片试验检测标准相关的简单介绍，具体试验/检测周期、方法和步骤以与工程师沟通为准。北检研究院将持续跟进新的技术和标准，工程师会根据不同产品类型的特点，选取相应的检测项目和方法，以最大程度满足客户的需求和市场的要求。