点分析：对样品表面特定微米或亚微米级点进行定性和定量成分分析，确定该位置所含元素及其浓度。
线扫描分析：沿预设直线路径进行连续或步进式成分测量，揭示元素浓度随位置变化的趋势与分布规律。
面分布分析：对选定二维区域进行扫描成像，直观展示不同元素在微观尺度上的空间分布与富集状态。
深度剖析：通过逐层剥离或改变激发条件，获取元素浓度随样品深度变化的剖面信息，用于薄膜及涂层研究。
相组成分析：结合形貌观察与成分数据，识别材料中不同物相并确定其具体的化学组成。
夹杂物与析出相鉴定：针对材料中存在的非金属夹杂物或第二相粒子，分析其化学成分、尺寸及形态特征。
界面扩散研究：测量异质材料结合界面附近的元素互扩散行为，评估界面稳定性与反应层厚度。
腐蚀产物分析：对材料表面腐蚀区域进行成分鉴定，确定腐蚀产物的种类及其形成机制。
失效分析中的异物鉴定：在产品失效部位寻找并分析微小异物颗粒的成分，追溯污染源或失效起因。
微区定量分析：采用标准样品或无标样方法，对微区内各元素进行定量计算，提供可靠的浓度数据。
金属材料：包括钢铁、铝合金、高温合金等，用于分析合金元素偏析、夹杂物成分及相变过程。
半导体器件
