氦质谱泄漏检测-[北检院]北检(北京)检测技术研究院|第三方科研检测中心

检测项目

氦质谱泄漏检测主要针对以下关键项目进行量化评估：

真空系统完整性验证：包括真空腔体、阀门及管道连接处的整体密封性能测试

密封容器泄漏率测定：适用于压力容器、储罐等承压设备的允许泄漏阈值判定

微电子器件封装测试：针对半导体芯片封装、MEMS器件的氦气渗透率测量

航天器部件检漏：涵盖推进系统管路、舱体焊缝等关键部位的真空维持能力评估

医疗设备密封验证：涉及MRI超导磁体、血液透析设备等医疗装置的密闭性检测

检测范围

该技术适用于以下领域的泄漏检测需求：

工业制造领域：压缩机壳体焊接缝、制冷系统蒸发器/冷凝器组件

能源装备领域：核反应堆冷却回路、燃料电池双极板密封界面

科研装置领域：粒子加速器真空管道、低温超导磁体杜瓦容器

汽车工业领域：新能源电池包壳体、氢燃料储罐多层复合结构

精密仪器领域：质谱仪离子源腔体、光学镀膜设备真空室

检测方法

标准检测流程包含三种主要方法：

真空法（内检法）：

将被测件接入真空系统并抽至工作压力

外部喷洒或内部充注氦气示踪剂

通过质谱仪监测系统内氦分压变化率

吸枪法（外检法）：

被测件内部充注规定压力的氦氮混合气

使用吸枪探头沿可疑泄漏路径扫描采集气体样本

实时分析采集气体中的氦浓度峰值位置

累积法（罩盒法）：

将被测件置于密闭罩盒内并充入氦气

通过外部泵组建立压力梯度驱动泄漏过程

定量测定罩盒内氦气浓度随时间的变化曲线

检测仪器

核心设备系统由以下模块构成：

四极杆质谱仪：-质量数范围：1-200amu-最小可检漏率：510^-13Pam³/s-响应时间：≤1秒（90%信号建立）

磁扇型质谱仪：-分辨率：M/ΔM≥100-本底噪声：＜110^-12mbarL/s-线性动态范围：10⁶

辅助系统组件：-分子泵组（极限真空≤510^-7mbar）-氦气回收装置（回收效率≥98%）-多通道数据采集系统（采样频率≥10Hz）

检测优势

1. 确保安全：通过检测可以确保防爆用呆扳手的安全性，防止在使用过程中引发火灾或爆炸。

2. 提高质量：通过检测可以提高防爆用呆扳手的产品质量，增强其市场竞争力。

3. 延长使用寿命：通过检测可以发现呆扳手的潜在问题，及时进行维修和更换，延长其使用寿命。

4. 降低维护成本：通过定期检测可以及时发现呆扳手的问题，避免因故障导致的停机和维修成本。

5. 提高工作效率：通过检测可以确保呆扳手的正常使用，提高工作效率，减少因工具故障导致的生产损失。

　　以上是关于氦质谱泄漏检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、方法和步骤以与工程师沟通为准。北检研究院将持续跟进新的技术和标准，工程师会根据不同产品类型的特点，选取相应的检测项目和方法，以最大程度满足客户的需求和市场的要求。

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