高纯氮气检测

检测项目

高纯氮气质量评价体系包含基础物化参数与痕量杂质两大类指标：

纯度测定：通过差减法计算氮气体积分数（≥99.999%级需精确至0.0001%）

氧含量分析：采用电化学/顺磁法测定0.1-50ppm浓度区间

水分含量：露点温度法测量-80℃至+20℃范围水蒸气含量

总烃浓度：FID检测器测定甲烷当量值（常规要求≤0.5ppm）

颗粒物计数：激光散射法统计≥0.1μm粒径颗粒数量密度

二氧化碳含量：NDIR红外分析仪测定1-100ppm浓度水平

氢含量分析：催化燃烧法或气相色谱法测定微量氢气残留

检测范围

高纯氮气质量控制覆盖全产业链应用场景：

电子级氮气：半导体制造中光刻、蚀刻工艺用气（纯度≥99.9999%）

医药级氮气：无菌制剂生产保护气体（需符合USP-NF标准）

实验室载气：GC/LC-MS等分析仪器用气（烃类杂质≤0.1ppm）

食品加工：包装填充气体（氧含量≤30ppm）

航天航空：燃料系统惰化保护气体（露点≤-70℃）

超导应用：液氮冷却系统用气（颗粒物≤5粒/ft³）

检测方法

依据ISO 8573、GB/T 8979等国际/国家标准实施规范化检测：

气相色谱法（GC）：配备TCD/FID双检测器系统测定O₂、H₂、CO等组分

激光光谱法：TDLAS技术实现H₂O、CO₂等分子的原位在线监测

质谱分析法（MS）：高分辨质谱仪识别ppb级复杂杂质成分

库仑法水分仪：五氧化二磷传感器测量露点温度（精度±1℃）

粒子计数器：基于ISO 21501校准的激光尘埃粒子计数器

化学发光法：臭氧转化装置结合NOx分析仪测定总氮氧化物

检测仪器

专业化检测需配置精密分析设备与辅助系统：

多组分气体分析仪：Agilent 7890B GC系统（配备微氩离子化检测器）

超微量水分仪：Michell Optidew Vision精密露点仪（量程-100~+20℃）

高灵敏度质谱仪：Pfeiffer Vacuum QMG 220 M1残余气体分析仪

在线激光分析系统：Siemens LDS6 Tunable Diode Laser光谱仪

颗粒物监测装置：PMS HSLIS-M50激光粒子计数器（0.1μm分辨率）

气体采样系统：Swagelok全钝化采样钢瓶与减压调节装置

标准气体制备：动态稀释仪生成ppb级标准气体（NPL可溯源

北检(北京)检测技术研究院

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是关于高纯氮气检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、方法和步骤以与工程师沟通为准。北检研究院将持续跟进新的技术和标准，工程师会根据不同产品类型的特点，选取相应的检测项目和方法，以最大程度满足客户的需求和市场的要求。