微泄漏质谱检漏法

检测项目

氦气泄漏率定量：测量被测件在特定压力下的氦气泄漏速率，通常单位为mbar·L/s或Pa·m³/s。

整体泄漏检测：将被测件置于充氦的密闭腔体中，检测从被测件内部逸出的总氦气量，评估整体密封性。

局部漏点定位：使用喷枪或吸枪方式，对可疑部位进行扫描，定位单个或多个微小泄漏点的具体位置。

背压法检测：适用于小型密封器件，先将其在高压氦气中浸泡，再放入真空腔检测释放出的氦气，判断是否泄漏。

真空模式检漏：将被测件内部抽真空，外部喷吹氦气，若有漏点，氦气被吸入并由质谱仪检测，灵敏度极高。

吸枪模式检漏：在被测件内部充入一定压力的氦气，外部用吸枪探头扫描，吸入泄漏的氦气进行检测。

累积法检漏：将可能泄漏的部件置于密闭收集罩内一段时间，累积泄漏的氦气，然后一次性吸入分析，提高小漏检出能力。

密封件筛选测试：对批量生产的密封件（如O型圈、垫片）进行快速、高灵敏度的通过/不通过测试。

系统保压测试辅助：与压力衰减法结合，当压力变化指示可能存在微漏时，用质谱法进行确认和定位。

密封工艺验证：验证焊接、钎焊、封装等密封工艺的可靠性与一致性，确保其满足设计泄漏率要求。

检测范围

航空航天部件：检测航天器燃料储箱、生命保障系统、舱体结构、阀门及管路的极微小泄漏。

半导体与真空设备：应用于芯片制造所需的真空腔室、等离子体设备、分子泵以及各种真空阀门的检漏。

制冷与空调行业：检测压缩机、冷凝器、蒸发器以及整个制冷回路的密封性，确保冷媒不泄漏。

汽车制造领域：用于燃料电池系统、电动汽车电池包、安全气囊发生器、空调系统及发动机关键部件的密封测试。

电力行业设备：检测高压GIS（气体绝缘开关设备）的密封性，防止SF6等绝缘气体泄漏。

医疗器械与包装：确保起搏器、植入式医疗器械、无菌药品包装、血液袋等的长期可靠密封。

科研实验装置：用于高能物理加速器、同步辐射装置、真空镀膜系统等对真空度要求极高的科研设备。

化工与管道系统：检测危险化学品储罐、输送管道、反应釜及阀门法兰连接处的微量泄漏，保障安全。

新能源电池系统：检测锂离子电池电芯、电池模组及Pack包的气密性，防止电解液蒸汽逸出或水分侵入。

高价值密封产品：如高档灯具（氙气、LED散热）、光学器件、时间胶囊等需要长期保持内部特定气氛的产品。

检测方法

真空喷吹法：将被测件内部抽真空，在可疑外表面用氦气喷枪扫描，氦气通过漏孔进入被质谱仪检测。

吸枪法（嗅探法）：在被测件内部充入高于大气压的氦气，用吸枪在外部扫描，吸入泄漏气体进行检测。

真空罩法（整体检漏法）：将充有氦气的被测件整体放入真空密封罩中，抽真空后检测罩内累积的氦气量。

累积检测法：用密闭的软罩或硬罩局部包裹被测部位，累积一段时间后，检测罩内氦气浓度，判断泄漏。

背压法：将小型器件在高压氦气环境中浸泡数小时，取出吹净表面吸附氦气后，放入真空腔检测其释放的氦气。

标准漏孔校准法：使用已知泄漏率的氦标准漏孔对检漏系统进行校准，确保测量结果的准确性与溯源性。

氦气回收与净化：在大规模或连续测试中，采用氦气回收系统，将检测后的氦气纯化并循环利用，降低成本。

多工位自动测试：通过PLC或计算机控制，实现多个被测件的自动充氦、传输、检测和分选，提高效率。

示踪气体混合法：在特定应用中，可将氦气与其他气体（如氢氮混合气）按比例混合作为示踪气体，兼顾安全与成本。

压力-质谱联合法：先进行粗检（如压力变化测试），锁定疑似泄漏部件，再使用质谱法进行定量和定位。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪：核心设备，由离子源、分析器、接收器及真空系统组成，专门用于检测极微量的氦气。

标准漏孔：提供恒定、已知的氦气泄漏率，用于校准检漏仪的灵敏度和测量精度，是量值传递的基准。

检漏真空系统：包括机械泵、分子泵或扩散泵，为检漏仪和被测件提供所需的高真空或前级真空环境。

氦气喷枪：用于真空喷吹法，将氦气以可控的流量和压力喷射到被测件外表面，进行漏点定位。

吸枪探头：用于吸枪法，前端装有精细过滤器，通过软管连接到检漏仪，用于吸入并输送泄漏的示踪气体。

真空检测腔室：用于整体检漏法或背压法，为被测件提供密闭的真空测试环境，通常由不锈钢制成。

累积罩与密封夹具：各种形状的刚性或柔性罩体及专用夹具，用于局部或整体包裹被测件，形成累积空间。

充氦与压力控制装置：包括氦气瓶、减压阀、精密压力控制器和质量流量计，用于控制充入被测件的氦气压力和浓度。

工件传输与自动化系统：用于生产线上的自动上下料、密封对接、测试序列执行的机械臂或传送机构。

数据采集与处理系统：计算机和专用软件，用于控制测试流程、实时采集泄漏信号、分析数据、生成报告并存储。

检测优势

1. 确保安全：通过检测可以确保防爆用呆扳手的安全性，防止在使用过程中引发火灾或爆炸。

2. 提高质量：通过检测可以提高防爆用呆扳手的产品质量，增强其市场竞争力。

3. 延长使用寿命：通过检测可以发现呆扳手的潜在问题，及时进行维修和更换，延长其使用寿命。

4. 降低维护成本：通过定期检测可以及时发现呆扳手的问题，避免因故障导致的停机和维修成本。

5. 提高工作效率：通过检测可以确保呆扳手的正常使用，提高工作效率，减少因工具故障导致的生产损失。

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